氣敏電阻式傳感器一般由敏感元件、加熱器和外殼組成，此組成方式和光電開關(guān)傳感器有的不同，具體情況如下。
1、按結(jié)構(gòu)分
氣敏電阻式傳感器按結(jié)構(gòu)可分為燒結(jié)型、薄膜型和厚膜型，燒結(jié)型以氧化物半導(dǎo)體材料為基體，將電極和加熱器埋入金屬氧化物中，另熱加壓成型，再用低溫制陶工藝燒結(jié)制成，又稱為半導(dǎo)體陶瓷，制作方法簡單，壽命長，但是誤差較大;薄膜型是用蒸發(fā)和濺射方法在絕緣基片上形成氧化物薄膜，具有靈敏度高和反應(yīng)速度快的特點;厚膜型是將氣敏材料和硅凝膠制成厚膜膠，然后將厚膜膠用絲網(wǎng)印刷到裝有鉑電極的基片上，燒制后制成，具有適合批量生產(chǎn)的特點。
2、按加熱方式分
氣敏電阻式傳感器按加熱方式可分為直熱型和旁熱型。
直接熱型氣敏電阻式傳感器這種傳感器結(jié)構(gòu)簡單、成本低，但易受環(huán)境氣流影響，穩(wěn)定性差。
旁熱型氣敏電阻式傳感器是管芯結(jié)構(gòu)的測量電路加熱器分離，避免相互干擾，這種傳感器可靠性和使用壽命比直熱型高。 |
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